发明名称 |
具有惯性行星传动的多晶片旋转盘反应器 |
摘要 |
本发明涉及晶片载体和用于移动反应器中晶片的方法。晶片载体(220)可以包括具有多个隔间的压板(215)和多个晶片平台(210)。压板(215)配置成围绕第一轴线旋转。每个晶片平台(210)与一个隔间相关联,并且配置成相对于各自的隔间(770)而围绕各自第二轴线旋转。压板(215)和晶片平台(210)以不同的角速度旋转以在其间形成行星运动。该方法可包括围绕第一旋转轴旋转压板(215)。该方法还包括旋转压板(215)上承载的多个晶片平台(210)的每一个晶片平台(210),并且围绕各自第二旋转轴以与压板(215)不同的角速度承载晶片(200),以在其间形成行星运动。 |
申请公布号 |
CN102934220B |
申请公布日期 |
2016.04.20 |
申请号 |
CN201180028105.2 |
申请日期 |
2011.06.07 |
申请人 |
威科仪器有限公司 |
发明人 |
T·A·卢斯;A·P·帕兰杰佩;A·塞拉鲁;J·斯坎达里亚托;Q·唐 |
分类号 |
H01L21/687(2006.01)I |
主分类号 |
H01L21/687(2006.01)I |
代理机构 |
永新专利商标代理有限公司 72002 |
代理人 |
王琼 |
主权项 |
一种用于多个晶片的晶片载体,该晶片载体包括:具有多个隔间的压板,该压板配置以围绕第一轴线旋转;以及多个晶片平台,每个晶片平台与一个隔间相关联,并且配置成围绕相对于各个隔间的各自第二轴线而旋转,并且在平衡状态期间,所述晶片平台相对于所述压板保持静止;在初始启动且在达到平衡状态之前的期间,或者在关闭序列期间,所述晶片平台的最大旋转速度可以被调整,从而使所述压板和所述晶片平台之间以受控和同步方式创建行星运动。 |
地址 |
美国纽约 |