发明名称 |
稀土掺杂Sb基相变薄膜材料及薄膜制备方法 |
摘要 |
本发明公开了一种稀土掺杂Sb基相变薄膜材料及薄膜制备方法,稀土掺杂Sb基相变薄膜材料的化学分子式为Sb<sub>x</sub>A<sub>y</sub>;其中0<x≤0.92,0<y≤0.48,x+y=1.00;并且A为稀土。通过该方法使制备的薄膜热稳定性好,数据保持力好,低功耗。 |
申请公布号 |
CN105514266A |
申请公布日期 |
2016.04.20 |
申请号 |
CN201510876374.4 |
申请日期 |
2015.12.03 |
申请人 |
江苏理工学院 |
发明人 |
邹华;胡益丰;朱小芹;薛建忠;张建豪;孙月梅;郑龙;吴世臣;袁丽;吴卫华;眭永兴 |
分类号 |
H01L45/00(2006.01)I |
主分类号 |
H01L45/00(2006.01)I |
代理机构 |
北京三聚阳光知识产权代理有限公司 11250 |
代理人 |
张建纲 |
主权项 |
一种稀土掺杂Sb基相变薄膜材料,其特征在于它的化学分子式为Sb<sub>x</sub>A<sub>y</sub>;其中0<x≤0.92,0<y≤0.48,x+y=1.00;并且A为稀土。 |
地址 |
213001 江苏省常州市钟楼区中吴大道1801号 |