发明名称 稀土掺杂Sb基相变薄膜材料及薄膜制备方法
摘要 本发明公开了一种稀土掺杂Sb基相变薄膜材料及薄膜制备方法,稀土掺杂Sb基相变薄膜材料的化学分子式为Sb<sub>x</sub>A<sub>y</sub>;其中0&lt;x≤0.92,0&lt;y≤0.48,x+y=1.00;并且A为稀土。通过该方法使制备的薄膜热稳定性好,数据保持力好,低功耗。
申请公布号 CN105514266A 申请公布日期 2016.04.20
申请号 CN201510876374.4 申请日期 2015.12.03
申请人 江苏理工学院 发明人 邹华;胡益丰;朱小芹;薛建忠;张建豪;孙月梅;郑龙;吴世臣;袁丽;吴卫华;眭永兴
分类号 H01L45/00(2006.01)I 主分类号 H01L45/00(2006.01)I
代理机构 北京三聚阳光知识产权代理有限公司 11250 代理人 张建纲
主权项 一种稀土掺杂Sb基相变薄膜材料,其特征在于它的化学分子式为Sb<sub>x</sub>A<sub>y</sub>;其中0&lt;x≤0.92,0&lt;y≤0.48,x+y=1.00;并且A为稀土。
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