| 发明名称 | 用于纳米光刻的有机底部抗反射涂料组合物 | ||
| 摘要 | 提供了一种抗反射涂料组合物。本发明的抗反射涂料组合物可以用于防止在热固化过程中抗反射涂层在基底的图案的角落处撕裂的回拖现象，并且改善了图案的填隙特性，这是因为组合物中交联剂连接到聚合物并且组合物中的低分子量交联剂的含量被最小化以调整热固化起始温度。 | ||
| 申请公布号 | CN105505146A | 申请公布日期 | 2016.04.20 |
| 申请号 | CN201410858407.8 | 申请日期 | 2014.12.29 |
| 申请人 | 罗门哈斯电子材料韩国有限公司 | 发明人 | 沈载桓;S·Y·金;赵廷奎;H·W·李;J·姜;林载峰;J·H·金 |
| 分类号 | C09D167/02(2006.01)I;C09D7/12(2006.01)I;G03F7/00(2006.01)I | 主分类号 | C09D167/02(2006.01)I |
| 代理机构 | 上海专利商标事务所有限公司 31100 | 代理人 | 胡嘉倩 |
| 主权项 | 一种抗反射涂料组合物，其包括：(a)聚合物，所述聚合物包括(a‑1)至少一个衍生自包含芳基的化合物且构成所述聚合物主链的单元；和(a‑2)衍生自交联剂且连接到所述主链上的单元；和(b)溶剂，其中未连接到所述聚合物的主链上的交联剂的含量大于0wt％且小于或等于5wt％，以所述组合物中的固体物的总重量为基准。 | ||
| 地址 | 韩国忠清南道 | ||