基于线性插值的射频激励源的输出功率校准方法

摘要

本发明涉及一种基于线性插值的射频激励源的输出功率校准方法，属于功率校准技术领域。该方法改进了通用的“二分法”校准算法，根据校准精度的要求，合理的确定步进频率和容差，在校准频段内确定了各校准区间的大小和位置后，对这些区间的边界点采用“二分法”，对余下的大多数频点采用线性插值的方法进行校准。本发明方法在校准的精确度满足要求的情况下，大大减小了校准时间，提高了校准效率。

主权项

一种基于线性插值的射频激励源的输出功率校准方法，其特征在于包括以下步骤：步骤A：使用连接线将外部控制器、功率计和待测射频激励源连接，组成校准平台；步骤B：开始校准；步骤C：设定校准频段的开始频率F_begin、终止频率F_stop和步进频率F_step；步骤D：设置目标功率值P₀、衰减器的最小步进值Δ₀、容差值σ₀，且确保σ₀≥Δ₀；步骤E：设置当前校准频率F_temp＝F_begin、计数点N＝1；步骤F：设置当前校准频率F_temp下的最优的衰减器的值A_N＝0、最优的输出功率值P_N＝0；步骤G：代入参数P₀、F_temp、Δ₀、σ₀，进入二分法单频点校准子程序进行校准；步骤H：使用二分法单频点校准子程序进行校准；步骤I：二分法单频点校准子程序完成校准后，引出A_best和P_best；步骤J：更新A_N＝A_best、P_N＝P_best、N＝N+1；步骤K：判断F_temp是否等于F_stop，如果F_temp等于F_stop，进入步骤N；如果F_temp不等于F_stop，进入步骤L；步骤L：设置F_temp＝F_temp+F_step，如果F_temp不小于F_stop，进入步骤M；如果F_temp小于F_stop，进入步骤F；步骤M：更新F_temp＝F_stop，进入步骤F；步骤N：完成对校准频段内各区间边界点的二分法校准；步骤O：带入参数F_begin、F_stop、F_step以及序列A₁到A_N+1，进入插值校准子程序进行校准，其中，A_N+1表示对校准频段内第N+1个边界点进行二分法单频点校准子程序校准后，获得的该频点处的最优的衰减器的值；步骤P：使用插值校准子程序进行校准；步骤Q：插值校准子程序校准完成后，引出各区间的衰减器的值的拟合直线的斜率K₁到K_N；步骤R：校准结束；步骤S：校准频段内各频点衰减器的值的输出，可以分为2类：1.校准频段内第B个边界点的衰减器的值为A_B，1≤B≤(N+1)；2.第M个区间内的任意频点f的衰减器的值A_f＝A_M+K_M×{f‑F_M}。其中，1≤M≤N，F_M‑1≤f≤F_M；A_M表示对校准频段内第M个边界点进行二分法单频点校准子程序校准后，获得的该频点处的最优的衰减器的值；K_M为第M格区间的衰减器的值的拟合直线的斜率；F_M＝F_begin+(M‑1)×F_step。步骤T：将校准后获得的数据存储在待测射频激励源的存储器中。