用于金属线的蚀刻剂和使用其来制造金属线的方法

摘要

本发明的示例性实施方式提供了金属线蚀刻剂。根据本发明的示例性实施方式的金属线蚀刻剂包含过硫酸铵、有机酸、铵盐、含氟化合物、二醇类化合物和唑类化合物。

主权项

一种蚀刻剂，由以下组成：过硫酸铵；有机酸；铵盐；含氟化合物；二醇类化合物；唑类化合物；以及水，其中所述铵盐包含CH₃COONH₄、NH₄NO₃、(NH₄)₂HPO₄、NH₄H₂PO₄、NH₄PO₄、(NH₄)₂SO₄、或它们的任意组合中的至少一种，并且所述有机酸包含草酸、草乙酸、富马酸、苹果酸、丁二酸、乙酸、丁酸、棕榈酸、酒石酸、抗坏血酸、尿酸、磺酸、亚磺酸、甲酸、柠檬酸、异柠檬酸、α‑酮戊二酸中的至少一种以及乙醇酸，所述含氟化合物包含NaHF₂、NH₄BF₄、KHF₂、AlF₃、HBF₄、LiF₄、KBF₄、CaF₂或它们的任意组合中的至少一种，其中所述蚀刻剂用于蚀刻铜层、铜合金层、或钛/铜多层，其中所述过硫酸铵以所述蚀刻剂的0.1wt％至30wt％的范围存在，所述有机酸以所述蚀刻剂的0.1wt％至30wt％的范围存在，所述铵盐以所述蚀刻剂的0.01wt％至5wt％的范围存在，所述含氟化合物以所述蚀刻剂的0.01wt％至5wt％的范围存在，所述二醇类化合物以所述蚀刻剂的0.01wt％至10wt％的范围存在，并且所述唑类化合物以所述蚀刻剂的0.01wt％至2wt％的范围存在。