阵列基板的制作方法

摘要

本发明提供一种阵列基板的制作方法，通过在平坦层光罩(40)上用于形成沟槽的条形图案(401)两侧设置坡角改善图案(402)，从而可以降低在平坦层(30)上形成的沟槽(32)的坡角(321)，使其坡度变缓，防止后续制程中造成金属或ITO残留引起信号线间的短路，提高产品良率；对于内嵌式触控结构的阵列基板的沟槽处，不需对触控感应线进行换线，降低工艺难度，提升产品良率。

主权项

一种阵列基板的制作方法，其特征在于，包括如下步骤：步骤1、提供一基板(10)，在所述基板(10)上形成TFT层(20)，之后在所述TFT层(20)上涂布有机光阻材料，形成平坦层(30)；步骤2、提供一平坦层光罩(40)，所述平坦层光罩(40)上设有对应于所述平坦层(30)周边区域的数条沟槽图案(41)，所述沟槽图案(41)包括用于在平坦层上形成沟槽的条形图案(401)、以及设于所述条形图案(401)两侧的坡角改善图案(402)，所述坡角改善图案(402)包括沿所述条形图案(401)的边界并列密集排布的数个微型图案(421)，所述微型图案(421)的宽度从所述条形图案(401)的边界向外逐渐变小；步骤3、采用所述平坦层光罩(40)对所述平坦层(30)进行曝光、显影，在所述平坦层(30)的周边区域形成数条沟槽(32)，由于所述平坦层光罩(40)上用于形成沟槽的条形图案(401)两侧设有坡角改善图案(402)，从而可以降低沟槽(32)的坡角(321)，使其坡度变缓。