发明名称 |
光电转换装置及其制造方法 |
摘要 |
本发明提供能够防止本来不透射的波长的光的异常透射、能够使光谱波形的半值宽度减小的光电转换装置及其制造方法。在基板(100)上形成第一光电转换元件(101),在该第一光电转换元件(101)之上隔着绝缘膜(1、2、3)形成具有周期性或非周期性地配置的多个开口(41)的第一金属膜(31)。设置覆盖上述第一金属膜(31)的多个开口(41)的一部分的第二金属膜(32)。 |
申请公布号 |
CN105518875A |
申请公布日期 |
2016.04.20 |
申请号 |
CN201480046696.X |
申请日期 |
2014.07.11 |
申请人 |
夏普株式会社 |
发明人 |
夏秋和弘;内田雅代;泷本贵博;粟屋信义;石原数也;中野贵司;名仓满 |
分类号 |
H01L31/10(2006.01)I;G02B5/20(2006.01)I;H01L21/3205(2006.01)I;H01L21/768(2006.01)I;H01L23/522(2006.01)I;H01L27/14(2006.01)I |
主分类号 |
H01L31/10(2006.01)I |
代理机构 |
北京尚诚知识产权代理有限公司 11322 |
代理人 |
龙淳;池兵 |
主权项 |
一种光电转换装置,其特征在于,包括:设置在基板(100)上的第一光电转换元件(101);隔着绝缘膜(1、2、3)形成在所述第一光电转换元件(101)之上,并且用于构成等离子体滤光区域的具有周期性或非周期性地配置的多个开口(41、841)的第一金属膜(31、131、231、831);和覆盖所述第一金属膜(31、131、231、831)的多个开口(41、841)的一部分的第二金属膜(32、132、232、832)。 |
地址 |
日本大阪府 |