用于IC芯片或MEMS器件的全流程生产工作站

摘要

本实用新型提供一种用于IC芯片或MEMS器件的全流程生产工作站，包括一个无尘的人机交换腔，用于人工取放工件和控制工作站运行；智能传输腔，用于传输工件到各个工艺流程腔；一个或多个工艺流程腔，设置在智能传输腔的传输线路上，由中心运输腔和围绕中心运输腔设置的多个卫星腔组成，其中，中心运输腔与智能传输腔连接，其内部设置能够在各个卫星腔内取放工件的自动抓取设备，所述卫星腔能够完成设定的工件生产工艺流程；所述智能传输腔、中心运输腔和卫星腔内的工作环境和运行次序通过设置在人机交换腔内的智能控制机构进行系统控制。所述工作站设计成多层结构，能够极大程度的减少设备占用面积和维护费用，同时提高生产效率，从根本上降低IC或者MEMS器件的生产成本。

主权项

一种用于IC芯片或MEMS器件的全流程生产工作站，其特征在于：包括一个无尘的人机交换腔，用于人工取放工件和控制工作站运行；智能传输腔，用于传输工件到各个工艺流程腔；一个或多个工艺流程腔，设置在智能传输腔的传输线路上，由中心运输腔和围绕中心运输腔设置的多个卫星腔组成，其中，中心运输腔与智能传输腔连接，其内部设置能够在各个卫星腔内取放工件自动抓取设备，所述卫星腔能够完成设定的工件生产工艺流程；所述智能传输腔、中心运输腔和卫星腔内的工作环境和运行次序通过智能控制机构进行系统控制。