一种低真空模式电子显微镜

摘要

本实用新型公开了一种低真空模式电子显微镜，包括高真空泵、前置真空泵、样品室、电子枪室；所述电子枪室经所述高真空泵的高真空接口与所述前置真空泵相连形成高真空腔室，所述样品室经所述高真空泵的层间接口与所述前置真空泵相连形成低真空腔室，所述电子枪室与所述样品室通过物镜光栏隔开，所述物镜光栏上设有供所述电子枪室发出的电子束穿过至所述样品室的孔，所述孔的孔径为0.1mm~0.3mm。本实用新型既满足电子枪和其发出的电子束的工作要求，又实现了样品不需要镀膜就可以直接观察，对于有些生物样品不需要脱水处理，能够保证多孔或者不耐电子束烧伤样品的观察效果。

主权项

一种低真空模式电子显微镜，包括高真空泵、前置真空泵、样品室、电子枪室；其特征在于：所述电子枪室经所述高真空泵的高真空接口与所述前置真空泵相连形成高真空腔室，所述样品室经所述高真空泵的层间接口与所述前置真空泵相连形成低真空腔室，所述电子枪室与所述样品室通过物镜光栏隔开，所述物镜光栏上设有供所述电子枪室发出的电子束穿过至所述样品室的孔，所述孔的孔径为0.1mm~0.3mm。