| 摘要 |
구동 장치에 의해, 웨이퍼 테이블 (WTB) 의 Y 축 방향의 위치 정보를 계측하는 인코더 (64) 의 계측값과 그 계측시에 간섭계 (16, 43A 및 43B) 에 의해 계측되는 웨이퍼 테이블 (WTB) 의 비계측 방향 (예를 들어, Z, θz 및 θx 방향) 의 위치 정보에 따른 기존의 보정 정보에 기초하여, 웨이퍼 테이블이 Y 축 방향으로 구동된다. 즉, 비계측 방향으로의 헤드와 스케일의 상대 변위에 기인하는 인코더의 계측 오차를 보정하는 보정 정보에 의해 보정된 인코더의 계측값에 기초하여 이동체가 Y 축 방향으로 구동된다. 따라서, 헤드와 스케일 사이의 계측하고자 하는 방향 (계측 방향) 이외의 상대 운동에 영향을 주지 않고, 인코더에 의해 위치를 계측하면서, 웨이퍼 테이블 (이동체) 을 원하는 방향으로 양호한 정밀도로 구동시킬 수 있게 된다. |
