| 摘要 |
일정 방향으로 배열되는 복수의 FOUP와 반도체 웨이퍼 처리 장치의 사이에서 반도체 웨이퍼를 반송함과 함께 EFEM의 일부를 구성하는 산업용 로봇에 있어서, 로봇 본체를 승강시키는 승강 기구가 로봇 본체의 외부에 배치되어 있어도, 복수의 FOUP의 배열 방향과 상하 방향에 직교하는 방향에 있어서, EFEM을 소형화하는 것이 가능한 산업용 로봇을 제공한다. 산업용 로봇(1)에서는, 아암(16)이 줄어들어서 복수의 아암부(18 내지 20) 및 핸드(14, 15)가 상하 방향으로 겹쳐 있는 산업용 로봇(1)의 대기 상태에 있어서, 아암(16)의 일부는, 로봇 본체(3)의 본체부(17)보다도 Y2 방향측에 배치되어 있다. 또한, 산업용 로봇(1)에서는, 로봇 본체(3)를 승강시키는 승강 기구(4)에 본체부(17)가 고정됨과 함께, 승강 기구(4)는 본체부(17)의 Y2 방향측에 배치되어 있다. |
