使用X射线光电子光谱与X射线萤光技术之多层与多程序资讯的前授

摘要

使用XPS与XRF技术用于多层与多程序资讯之前授的方法和系统。在一个例子中，一种薄膜特征化方法包含对于具有一基板之上的一第一层的一试样，量测第一XPS与XRF强度讯号。该第一层的厚度系基于该第一XPS与XRF强度讯号加以决定。该第一层与该基板的资讯系加以结合，以估算一有效基板。对于具有该基板之上的该第一层之上的一第二层的一试样，量测第二XPS与XRF强度讯号。该方法亦包含基于该第二XPS与XRF强度讯号，决定该第二层的厚度，该厚度将该有效基板列入考量。

主权项

一种薄膜特征化方法，该方法包含： 　　对于具有一基板之上的一第一层的一试样，量测第一XPS与XRF强度讯号，该第一XPS与XRF强度讯号包含该第一层与该基板的资讯； 　　基于该第一XPS与XRF强度讯号，决定该第一层的厚度； 　　结合该第一层与该基板的资讯，以估算一有效基板； 对于具有该基板之上的该第一层之上的一第二层的一试样，量测第二XPS与XRF强度讯号，该第二XPS与XRF强度讯号包含该第二层、该第一层、及该基板的资讯；及 　　基于该第二XPS与XRF强度讯号，决定该第二层的厚度，该第二层的厚度将该有效基板列入考量。