| 发明名称 |
抛光蓝宝石表面之组合物及方法 |
| 摘要 |
明揭示一种用于抛光蓝宝石表面之改良组合物及方法。该方法包含用包含悬浮于水性介质中之胶态二氧化矽的抛光组合物研磨蓝宝石表面，诸如蓝宝石晶圆之C平面、R平面或A平面表面，该抛光组合物具有酸性pH且包括提高蓝宝石移除速率之量之磷酸。
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| 申请公布号 |
TW201614037 |
申请公布日期 |
2016.04.16 |
| 申请号 |
TW104128507 |
申请日期 |
2015.08.28 |
| 申请人 |
卡博特微电子公司 |
发明人 |
卡夫特 史蒂芬 |
| 分类号 |
C09K3/14(2006.01);C09G1/02(2006.01);B28D5/02(2006.01);B24B29/02(2006.01);B24B37/04(2012.01) |
主分类号 |
C09K3/14(2006.01) |
| 代理机构 |
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代理人 |
陈长文 |
| 主权项 |
一种抛光蓝宝石表面之方法，其包含用抛光组合物研磨该蓝宝石表面，该抛光组合物包含占该抛光组合物约0.5至约20重量%之悬浮于水性介质中的胶态二氧化矽，该抛光组合物具有酸性pH且包括占该抛光组合物约0.0001至约1.0重量%之提高蓝宝石移除速率之量之磷酸。
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| 地址 |
美国 |
