Ｘ射线薄膜检查装置

摘要

明之X射线薄膜检查装置，其具备有：X射线照射单元40，其系搭载于第1旋转臂32；X射线检测器50，其系搭载于第2旋转臂33；及萤光X射线检测器60，其藉由X射线之照射检测自检查对象所产生之萤光X射线。而且，X射线照射单元40包含有：X射线光学元件43，其由共焦反射镜所构成，且使放射自X射线管42之X射线入射，将单色化为特定波长之复数条聚合X射线进行反射，而使该等复数条聚合X射线聚合于预先设定之焦点；及狭缝机构46，其使反射自X射线光学元件43之复数条聚合X射线中的任意条聚合X射线通过。

主权项

一种X射线薄膜检查装置，其具备有：试样台，其于上表面配置检查对象；影像观察手段，其观察被配置于上述试样台上表面之上述检查对象之影像；定位机构，其根据上述影像观察手段之对检查对象之影像观察结果进行控制，使上述试样台朝在水平面上正交之2个方向、高度方向及面内旋转方向移动；测角仪，其具备有分别沿着与上述试样台之上表面正交之虚拟平面进行旋转之第1、第2旋转构件；X射线照射单元，其系搭载于上述第1旋转构件；X射线检测器，其系搭载于上述第2旋转构件；及萤光X射线检测器，其检测藉由X射线之照射而自上述检查对象产生之萤光X射线。