压印装置、压印方法、及物品制造方法

摘要

压印装置，包括：基板台；分配单元；照射单元；接收单元，其被建构为接收从所述分配单元虚拟分配的压印材料；以及控制器，其被建构为使所述虚拟分配的压印材料被来自所述照射单元的能量束照射，而不使所述虚拟分配的压印材料与所述模具接触。

主权项

一种压印装置，其用于藉由使用模具在基板上形成压印材料的图案，所述压印装置包括：基板台，其被建构为保持所述基板；分配单元，其被建构为将所述压印材料分配在所述基板上；照射单元，其被建构为照射固化所述压印材料的能量束；接收单元，其被建构为接收从所述分配单元虚拟分配的压印材料；以及控制器，其被建构为使所述虚拟分配的压印材料被来自所述照射单元的能量束照射，而不使所述虚拟分配的压印材料与所述模具接触。