压力感测器及其制造方法

摘要

压力感测器及其制造方法，其中该压力感测器包含：一第一弹性基板，该第一弹性基板之一表面凸设有一图案层，该图案层包含一电极结构及二电连接结构，且该图案层具有一上表面；一导电层，设置于该图案层之该上表面，且该导电层对应该图案层之电极结构处系形成一电极区，该导电层对应该图案层之二电连接结构处系形成二电连接埠，该电极区系导通该二电连接埠；一压电薄膜，设置于该导电层之该电极区之一表面；及一第二弹性基板，该第二弹性基板系结合于该导电层与该压电薄膜朝外的一表面，以藉此降低制造成本及提升检测灵敏度。

主权项

一种压力感测器，系包含：一第一弹性基板，该第一弹性基板之一表面凸设有一图案层，该图案层包含一电极结构及二电连接结构，且该图案层具有一上表面；一导电层，设置于该图案层之该上表面，且该导电层对应该图案层之电极结构处系形成一电极区，该导电层对应该图案层之二电连接结构处系形成二电连接埠，该电极区系导通该二电连接埠；一压电薄膜，设置于该导电层之该电极区之一表面，且该压电薄膜电性连接该电极区；及一第二弹性基板，该第二弹性基板系结合于该导电层与该压电薄膜朝外的一表面，以将该导电层与该压电薄膜封装于该第一弹性基板与该第二弹性基板之间。