发明名称 肖特基二极体以及其制造方法
摘要 基二极体包括在基板的表面部分形成的第一导电型的漂移区,设置在基板上并具有使漂移区的一部分暴露出来的开口的绝缘层,以及设置在漂移区由开口暴露出来的部分上的矽化钛层。
申请公布号 TW201614853 申请公布日期 2016.04.16
申请号 TW104116899 申请日期 2015.05.27
申请人 东部高科股份有限公司 发明人 金勇晟
分类号 H01L29/872(2006.01);H01L23/00(2006.01);H01L29/66(2006.01);H01L29/06(2006.01) 主分类号 H01L29/872(2006.01)
代理机构 代理人 何秋远
主权项 一种肖特基二极体,包括: 在基板的表面部分形成的第一导电型的漂移区; 设置在所述基板上的绝缘层,所述绝缘层具有使所述漂移区的一部分暴露出来的开口;以及 设置在所述漂移区由所述开口暴露出来的所述一部分上的矽化钛层。
地址 南韩