| 发明名称 | 显影装置 | ||
| 摘要 | 明系一种显影装置，其具备杯具模组，该杯具模组包含：基板保持部，其系为可利用旋转机构自由旋转之构成；以及杯具，其包围该基板保持部，用以承接液体；该显影装置对该基板保持部所保持之基板供给显影液以进行显影；该显影装置的特征为包含：第1杯具模组以及第2杯具模组，其互相隔着间隔在横方向上并排；第1显影液喷嘴，其在该第1杯具模组与第2杯具模组之间的待机位置待机；以及第1移动机构，其用来使该第1显影液喷嘴在该待机位置与对基板供给显影液的处理位置之间移动；该第1显影液喷嘴具备：吐出口，其用来吐出显影液以在基板的表面上形成积液；以及接触部，其形成得比该基板的表面更小，并以与该基板的表面互相对向的方式设置；该接触部，在与该积液接触的状态下，与显影液的供给位置一起从旋转之基板的部位以及周缘部位的其中一侧移动到另一侧，藉此使该积液在基板上扩散。 | ||
| 申请公布号 | TW201614396 | 申请公布日期 | 2016.04.16 |
| 申请号 | TW104123483 | 申请日期 | 2015.07.21 |
| 申请人 | 东京威力科创股份有限公司 | 发明人 | 福田昌弘;山本太郎 |
| 分类号 | G03F7/30(2006.01) | 主分类号 | G03F7/30(2006.01) |
| 代理机构 | 代理人 | 周良谋;周良吉 | |
| 主权项 | 一种显影装置，其具备杯具模组，该杯具模组包含：基板保持部，其系为可利用旋转机构自由旋转之构成；以及杯具，其包围该基板保持部，用以承接液体；该显影装置对该基板保持部所保持之基板供给显影液以进行显影；该显影装置的特征为包含： 第1杯具模组以及第2杯具模组，其互相隔着间隔在横方向上并排； 第1显影液喷嘴，其在该第1杯具模组与第2杯具模组之间的待机位置待机；以及 第1移动机构，其用来使该第1显影液喷嘴在该待机位置与对基板供给显影液的处理位置之间移动； 该第1显影液喷嘴具备： 吐出口，其用来吐出显影液，以在基板的表面上形成积液；以及 接触部，其形成为比该基板的表面更小，并以与该基板的表面互相对向的方式设置； 该接触部，在与该积液接触的状态下，与显影液的供给位置一起从旋转之基板的中央部位以及周缘部位的其中一侧移动到另一侧，藉此使该积液在基板上扩散。 | ||
| 地址 | 日本 | ||