龙门式设备和控制方法

摘要

龙门式设备和控制方法，包括支撑装置、藉由龙门架连接装置设于支撑装置上的龙门架本体、置于龙门架本体上的第一感测单元、第二感测单元和扫描振镜、置于支撑装置上的第三感测单元、位于扫描振镜与龙门架本体之间用于支撑扫描振镜垂直方向移动的垂直方向执行器。本发明的有益效果为：该龙门架本体和龙门架连接装置组合起来实现龙门架本体的水平方向移动和垂直方向移动，提供多元化的选择；根据第一感测单元、第二感测单元和第三感测单元的测量值获得扫描振镜高度测量感测器的垂直方向设定值，然后移动扫描振镜，从而将扫描振镜的最佳焦点调到目标点，降低控制难度，节省生产成本。

主权项

一种龙门式设备，该龙门式设备包括：一支撑装置，用于承载一基板；一龙门架本体和一龙门架连接装置，该龙门架本体藉由该龙门架连接装置设于该支撑装置上；一垂直方向执行器，置于该龙门架本体上且相对该龙门架本体可垂直方向移动；一扫描振镜，位于该垂直方向执行器上；一第一感测单元，置于该支撑装置上，由该第一感测单元的基准面探测该扫描振镜的最佳焦点；一第二感测单元，置于该龙门架本体上，用于获取该基板的表面和第一感测单元的基准面之间的一第一距离；以及一第三感测单元，置于该垂直方向执行器上，当该第一感测单元的基准面探测到该扫描振镜的最佳焦点时，该第三感测单元获取该扫描振镜和该第一感测单元的表面之间的一第二距离，其中，该垂直方向执行器用于根据该第一距离和该第二距离调整该扫描振镜的垂直方向位置，使得该扫描振镜相对于该基板的表面的垂直方向距离等于该第一距离与该第二距离的和。