| 发明名称 |
磺酸衍生物及光酸产生剂 |
| 摘要 |
明系提供一种不产生异物且所产生的酸具有充分的酸强度，用于光阻材料之光酸产生剂及适合作为光产生酸之磺酸衍生物。
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| 申请公布号 |
TW201613855 |
申请公布日期 |
2016.04.16 |
| 申请号 |
TW104139905 |
申请日期 |
2011.01.14 |
| 申请人 |
东洋合成工业股份有限公司 |
发明人 |
细井康弘;兼子让 |
| 分类号 |
C07C309/06(2006.01);C07C309/17(2006.01);C07C381/12(2006.01);G03F7/004(2006.01) |
主分类号 |
C07C309/06(2006.01) |
| 代理机构 |
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代理人 |
洪武雄;陈昭诚 |
| 主权项 |
一种磺酸衍生物，其特征为：下述通式(1)所示之磺酸衍生物，RCOOCH2CH2CFHCF2SO3-M+ (1)(式(1)中，R表示取代或无取代之碳数1至30的直链状、分支状或环状的烃基、取代或无取代之碳数6至30的芳香基；M+表示对应阳离子)。
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| 地址 |
日本 |
