旋转限制装置以及包含该旋转限制装置的基板搬运装置

摘要

旋转限制装置以及包含该旋转限制装置的基板搬运装置，旋转限制装置包括：第一限制构件，结合于旋转部上；第二限制构件，可旋转地结合于运行底座上；以及移动构件，用于控制第二限制构件的位置，若第一限制构件旋转而接触于第二限制构件，则第二限制构件一同旋转，当第二限制构件由于与第一限制构件接触而旋转时，移动构件控制第二限制构件的位置，以限制第二限制构件的旋转范围，从而在确保旋转部旋转一圈的同时防止旋转部连续旋转。根据本发明，能防止由于第二限制构件的厚度而形成旋转部不能旋转的范围，从而能提高搬运基板的效率。

主权项

一种基板搬运装置用的旋转限制装置，包括：一第一限制构件，结合于一旋转部上，该旋转部与用于支撑一基板的一搬运臂连接并以一旋转轴为中心旋转，从而使该搬运臂旋转；一第二限制构件，可旋转地结合于一运行底座上，在该第一限制构件旋转时接触于该第一限制构件，以限制该第一限制构件的旋转，该运行底座上可旋转地结合有该旋转部；以及一移动构件，用于控制该第二限制构件的位置；其中，若该第一限制构件旋转而接触于该第二限制构件，则该第二限制构件一同旋转；其中，当该第二限制构件与该第一限制构件接触而旋转时，该移动构件控制该第二限制构件的位置，以限制该第二限制构件的旋转范围，从而在确保该旋转部旋转一圈的同时防止该旋转部连续旋转。