多电子束检查设备

摘要

明有关用于检查样品之表面的组件。组件包括二或更多个多束电子柱单元。每个单元包括：单一热场发射器，其发射发散的电子束朝向分束器，其中分束器包括第一多孔板，其包括多个孔洞以生成多条主要电子束，准直器透镜，其将来自发射器的发散电子束加以准直，物镜单元，其将该等多条主要电子束聚焦在该样品上，以及多感测器侦测器系统，其分开侦测在该样品上的该等聚焦之主要电子束的每一者所生成之次要电子束的强度。二或更多个多束电子柱单元安排成彼此相邻以同时检查样品表面的不同部分。

主权项

一种用于检查样品之表面的组件，其中该组件包括二或更多个多束电子柱单元，每个多束电子柱单元包括：单一热场发射源，较佳而言为萧特基型，其发射发散的电子束朝向分束器，其中该分束器包括第一多孔板，该板包括多个孔洞而安排成生成多条主要电子束，该第一多个孔洞的每个孔洞有一条主要电子束，准直器透镜，其将来自该发射器的该发散电子束加以实质准直，物镜单元，其将该等多条主要电子束聚焦在该样品上，其中该物镜单元包括第二静电透镜阵列以将该等多条主要电子束聚焦在该样品的该表面上，其中该第二静电透镜阵列包括至少第二多孔板，其中该第二多孔板的实质每个孔洞在使用上包括静电透镜，以及多感测器侦测器系统，其分开侦测在该样品上的该等聚焦之主要电子束的每一者所生成之次要电子束的强度，其中该等二或更多个多束电子柱单元安排成彼此相邻，并且安排成将其多条主要电子束聚焦到该样品的该表面上以同时检查该样品之该表面的不同部分。