用以改进套组寿命之用于高压缩应力薄膜沉积的设备

摘要

揭示一种用于延长处理套组元件寿命的设备。在一些实施例中，处理套组包括：第一环，该第一环具有定义内径的内壁、定义外径的外壁、在该内壁及外壁之间的上表面，及在该内壁及外壁之间的相对下表面，其中靠近该内壁的该上表面之第一部分是凹形的，且其中该上表面的第二部分水平延伸远离该第一部分；及第二环，该第二环具有上表面及相对的下表面，其中该下表面的第一部分经配置以安置在该第一环的该第二部分上，其中该下表面的第二部分是凸形的，且延伸至但不接触该第一环的上表面之凹形第一部分。

主权项

一种处理套组，该处理套组包括：一第一环，该第一环具有定义一内径(inner diameter)的一内壁、定义一外径(outer diameter)的一外壁、设置在该内壁及该外壁之间的一上表面，及设置在该内壁及该外壁之间的一相对下表面，其中靠近该内壁的该上表面之一第一部分是凹形(concave)的，且其中该上表面的一第二部分水平延伸远离该第一部分；及一第二环，该第二环具有一上表面及一相对下表面，其中该下表面的一第一部分经配置以安置在该第一环的该第二部分上，其中该下表面的一第二部分是凸形(convex)的，且延伸至但不碰触该第一环的该上表面之该凹形第一部分。