发明名称 封装治具
摘要 封装治具,包括固定座、抽气装置以及气阀。固定座适于固定基板,以使晶片分别接合于基板上的置晶区内。固定座具有沟槽、第一连通孔、第二连通孔以及多个第三连通孔,其中第一连通孔、第二连通孔与这些第三连通孔相互连通。各个第三连通孔位于对应的置晶区内,且沟槽环绕于各个置晶区的外围。抽气装置连接第一连通孔。气阀连接第二连通孔。
申请公布号 TW201614740 申请公布日期 2016.04.16
申请号 TW103134555 申请日期 2014.10.03
申请人 力成科技股份有限公司 发明人 叶昀鑫;徐宏欣
分类号 H01L21/56(2006.01) 主分类号 H01L21/56(2006.01)
代理机构 代理人 叶璟宗;詹东颖;刘亚君
主权项 一种封装治具,包括:一固定座,适于固定一基板,以使多个晶片分别接合于该基板上的多个置晶区内,该固定座具有一沟槽、一第一连通孔、一第二连通孔以及多个第三连通孔,其中该第一连通孔、该第二连通孔与该些第三连通孔相互连通,各该第三连通孔位于对应的该置晶区内,且该沟槽环绕于各该置晶区的外围;一抽气装置,连接该第一连通孔;以及一气阀,连接该第二连通孔。
地址 新竹县湖口乡新竹工业区大同路26号
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