发明名称 | 封装治具 | ||
摘要 | 封装治具,包括固定座、抽气装置以及气阀。固定座适于固定基板,以使晶片分别接合于基板上的置晶区内。固定座具有沟槽、第一连通孔、第二连通孔以及多个第三连通孔,其中第一连通孔、第二连通孔与这些第三连通孔相互连通。各个第三连通孔位于对应的置晶区内,且沟槽环绕于各个置晶区的外围。抽气装置连接第一连通孔。气阀连接第二连通孔。 | ||
申请公布号 | TW201614740 | 申请公布日期 | 2016.04.16 |
申请号 | TW103134555 | 申请日期 | 2014.10.03 |
申请人 | 力成科技股份有限公司 | 发明人 | 叶昀鑫;徐宏欣 |
分类号 | H01L21/56(2006.01) | 主分类号 | H01L21/56(2006.01) |
代理机构 | 代理人 | 叶璟宗;詹东颖;刘亚君 | |
主权项 | 一种封装治具,包括:一固定座,适于固定一基板,以使多个晶片分别接合于该基板上的多个置晶区内,该固定座具有一沟槽、一第一连通孔、一第二连通孔以及多个第三连通孔,其中该第一连通孔、该第二连通孔与该些第三连通孔相互连通,各该第三连通孔位于对应的该置晶区内,且该沟槽环绕于各该置晶区的外围;一抽气装置,连接该第一连通孔;以及一气阀,连接该第二连通孔。 | ||
地址 | 新竹县湖口乡新竹工业区大同路26号 |