电浆处理装置

摘要

除附着在因蚀刻所形成之形状表面的沉积物。

主权项

一种电浆处理装置，系对被处理体进行电浆蚀刻之电浆处理装置，具备有：处理容器；气体供给系统，系将气体供给至该处理容器内；电浆源，系激发该气体供给系统所供给之气体；支撑构造体，系在该处理容器内保持被处理体；以及排气系统，系用以将该处理容器内之空间排气；该排气系统系设在该支撑构造体的正下方；该气体供给系统系具有：第1气体供给部，系将第1处理气体供给至该处理容器内；以及第2气体供给部，系将第2处理气体供给至该处理容器内；该电浆处理装置更具备有会对应于该处理容器内之电浆生成时或电浆消灭时之电浆状态，以个别地调整该第1处理气体之供给量及该第2处理气体之供给量的方式来控制该第1气体供给部及该第2气体供给部的控制器；该支撑构造体系构成为可旋转且可倾斜地支撑被处理体；该电浆处理装置更具备有将作为用以吸引离子之偏压电压而脉冲变频后的直流电压施加至该支撑构造体的偏压电力供给部。