Ｘ射线薄膜检查装置

摘要

明之X射线薄膜检查装置，其具备有：X射线照射单元40，其系搭载于第1旋转臂32；X射线检测器50，其系搭载于第2旋转臂33；萤光X射线检测器60，其藉由X射线之照射来检测自检查对象所产生之萤光X射线；温度测量单元110，其测量相当于X射线薄膜检查装置之温度的温度；及温度修正系统(委处理装置100)，其根据藉由温度测量单元110所测量之温度来修正检查位置。

主权项

一种X射线薄膜检查装置，其具备有：试样台，其于上表面配置检查对象；影像观察手段，其观察被配置于上述试样台上表面之上述检查对象中之被检查部位之影像；定位机构，其根据上述影像观察手段之影像观察结果进行控制，使上述试样台朝在水平面上正交之2个方向、高度方向及面内旋转方向移动，而将上述检查对象之被测量部位定位于被预先设定之装置之检查位置；X射线照射单元，其朝向被配置于上述检查位置之上述检查对象之被测量部位照射X射线；萤光X射线检测器，其检测自被配置于上述检查位置之上述检查对象之被测量部位产生之萤光X射线；温度测量手段，其测量相当于该X射线薄膜检查装置之内部温度之温度；及温度修正系统，其根据藉由上述温度测量手段所测量之温度，来修正上述检查位置。