量测曲率与薄膜应力的装置与方法

摘要

明揭露一种量测曲率与薄膜应力的装置，包含二并列设置之光源与侦测器。二光源之二光束为非平行并具有一夹角，二光束经准直投射至一试片，二光束于试片上的位置具有一间距。侦测器接收反射自试片之二光束，并藉由二光束于侦测器上的二光斑之距离或二光束其中之一的光斑尺寸变化计算试片之曲率。

主权项

一种量测曲率与薄膜应力的装置，包含： 一第一光源与一第二光源，该第一光源与该第二光源并列设置，使得该第二光源之一第二光束与该第一光源之一第一光束之间具有一夹角； 一第一聚光镜与一第二聚光镜，该第一聚光镜与该第二聚光镜分别将该第一光束与该第二光束大致准直投射至一试片； 一分光镜位于该第一聚光镜与该第二聚光镜与该试片之间；及 一侦测器，该分光镜将反射自该试片之该第一光束与该第二光束反射至该侦测器。