发明名称 薄膜电晶体及其制造方法
摘要 薄膜电晶体,适配置于一基板上,薄膜电晶体包括一闸极、一闸绝缘层、一第一源极/汲极、一半导体层及一第二源极/汲极。闸极配置于基板上。闸绝缘层覆盖闸极以及基板。第一源极/汲极配置于闸绝缘层上。半导体层配置于闸极上方,半导体层从闸绝缘层延伸至第一源极/汲极上,半导体层包括位于第一源极/汲极的一第一部分以及与第一部分连接的一第二部分,其中第一部分的导电率大于第二部分的导电率。第二源极/汲极覆盖并且接触第二部分。本发明更提供薄膜电晶体的制造方法。
申请公布号 TW201614850 申请公布日期 2016.04.16
申请号 TW103134213 申请日期 2014.10.01
申请人 中华映管股份有限公司 发明人 张锡明;黄彦余
分类号 H01L29/786(2006.01);H01L21/336(2006.01) 主分类号 H01L29/786(2006.01)
代理机构 代理人 叶璟宗;詹东颖;刘亚君
主权项 一种薄膜电晶体,适于配置于一基板上,该薄膜电晶体包括:一闸极,配置于该基板上;一闸绝缘层,覆盖该闸极以及该基板;一第一源极/汲极,配置于该闸绝缘层上;一半导体层,配置于该闸极上方,该半导体层从该闸绝缘层延伸至该第一源极/汲极上,该半导体层包括位于该第一源极/汲极的一第一部分以及与该第一部分连接的一第二部分,其中该第一部分的导电率大于该第二部分的导电率;以及一第二源极/汲极,覆盖并且接触该第二部分。
地址 桃园市龙潭区325华映路1号