发明名称 |
薄膜电晶体及其制造方法 |
摘要 |
薄膜电晶体,适配置于一基板上,薄膜电晶体包括一闸极、一闸绝缘层、一第一源极/汲极、一半导体层及一第二源极/汲极。闸极配置于基板上。闸绝缘层覆盖闸极以及基板。第一源极/汲极配置于闸绝缘层上。半导体层配置于闸极上方,半导体层从闸绝缘层延伸至第一源极/汲极上,半导体层包括位于第一源极/汲极的一第一部分以及与第一部分连接的一第二部分,其中第一部分的导电率大于第二部分的导电率。第二源极/汲极覆盖并且接触第二部分。本发明更提供薄膜电晶体的制造方法。
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申请公布号 |
TW201614850 |
申请公布日期 |
2016.04.16 |
申请号 |
TW103134213 |
申请日期 |
2014.10.01 |
申请人 |
中华映管股份有限公司 |
发明人 |
张锡明;黄彦余 |
分类号 |
H01L29/786(2006.01);H01L21/336(2006.01) |
主分类号 |
H01L29/786(2006.01) |
代理机构 |
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代理人 |
叶璟宗;詹东颖;刘亚君 |
主权项 |
一种薄膜电晶体,适于配置于一基板上,该薄膜电晶体包括:一闸极,配置于该基板上;一闸绝缘层,覆盖该闸极以及该基板;一第一源极/汲极,配置于该闸绝缘层上;一半导体层,配置于该闸极上方,该半导体层从该闸绝缘层延伸至该第一源极/汲极上,该半导体层包括位于该第一源极/汲极的一第一部分以及与该第一部分连接的一第二部分,其中该第一部分的导电率大于该第二部分的导电率;以及一第二源极/汲极,覆盖并且接触该第二部分。
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地址 |
桃园市龙潭区325华映路1号 |