线路布局及其间隙壁自对准四重图案化的方法

摘要

线路布局及其间隙壁自对准四重图案化的方法。线路布局包括第一线路、第二线路、第三线路与第四线路。第二线路与第三线路位于第一线路与第四线路之间，且第一线路、第二线路、第三线路与第四线路分别沿着第一方向延伸。第二线路的末段以及第三线路的末段分别具有沿着第二方向延伸的第一凸出部。第二线路的末段的第一凸出部朝向第一线路凸出。第三线路的末段的第一凸出部朝向第四线路凸出。

主权项

一种线路布局之间隙壁自对准四重图案化的方法，包括： 形成一核心层，该核心层包括： 一主体层，包括一末端部，沿着一第一方向延伸； 一第一辅助层，与该主体层的该末端部连接；以及 两个第二辅助层，与该第一辅助层的两侧连接，且沿着一第二方向延伸； 形成一第一间隙壁，于该核心层的侧壁； 移除该核心层； 形成一第二间隙壁与一第三间隙壁，于该第一间隙壁的侧壁，该第二间隙壁位于该第三间隙壁之中，且具有对应于该些第二辅助层的两个第一凸出部； 移除该第一间隙壁； 移除部分该第二间隙壁、以及部分该些第一凸出部，以形成一第一线路以及一第二线路；以及 移除部分该第三间隙壁并进行一图案转移制程，以形成一第三线路以及一第四线路，该第一线路与该第二线路位于该第三线路与该第四线路之间。