| 发明名称 |
研磨用组成物的制造方法 |
| 摘要 |
明系以提供一种于原液时分散稳定性良好，且例如即使在稀释成高倍率时亦可实现良好表面品质之研磨用组成物的制造方法作为目的。提供制造研磨用组成物之方法。此制造方法系包含将包含磨粒、硷性化合物、水溶性聚合物及水之研磨用组成物原液稀释成pH值变化成为0.15以上之步骤。前述研磨用组成物原液系由关系式：A=[CA×CP]/pHC(前述关系式中，CA系在研磨用组成物原液之磨粒的含量(重量%)，CP系在研磨用组成物原液之水溶性聚合物的含量(重量%)，pHC为研磨用组成物原液之pH值)；所求得之指标A为0.8以下。又，在前述稀释后研磨用组成物之水溶性聚合物的莫耳浓度为7.0×10-8莫耳/L以上。
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| 申请公布号 |
TW201614035 |
申请公布日期 |
2016.04.16 |
| 申请号 |
TW104127504 |
申请日期 |
2015.08.24 |
| 申请人 |
福吉米股份有限公司 |
发明人 |
土屋公亮;川雄介 |
| 分类号 |
C09K3/14(2006.01);C09G1/02(2006.01);H01L21/302(2006.01) |
主分类号 |
C09K3/14(2006.01) |
| 代理机构 |
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代理人 |
林志刚 |
| 主权项 |
一种研磨用组成物的制造方法，其系制造研磨用组成物之方法，其特征为包含将包含磨粒、硷性化合物、水溶性聚合物及水之研磨用组成物原液稀释成pH值变化成为0.15以上之步骤，前述研磨用组成物原液系由关系式：A=[CA×CP]/pHC所求得之指标A为0.8以下，在前述稀释后研磨用组成物之水溶性聚合物的莫耳浓度为7.0×10-8莫耳/L以上，前述关系式中，CA系在研磨用组成物原液之磨粒的含量(重量%)，CP系在研磨用组成物原液之水溶性聚合物的含量(重量%)，pHC为研磨用组成物原液之pH值。
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| 地址 |
日本 |
