3 A Method to Fabricate Ultra Low Density Three-Dimensional Thin-Film Structures Using Beads

摘要

본 발명은 (a) 다수의 구슬을 서로 접촉시켜 배치하는 단계와, (b) 상기 구슬을 서로 연결하는 단계와, (c) 상기 구슬의 표면에 박막을 형성하는 단계와, (d) 상기 박막의 일부를 제거하는 단계 및 (e) 상기 박막의 내부 물질을 제거하는 단계를 포함하여 극저밀도 3차원 박막 구조체를 저렴한 비용으로 대형화 및 대량 생산할 수 있는 구슬을 이용한 극저밀도 3차원 박막 구조체의 제조방법을 제공한다.