| 摘要 |
L'invention concerne un procédé de fabrication d'un dispositif électronique, en particulier comprenant un substrat flexible et/ou à bas coût et/ou des nanotubes de carbone, et les dispositifs électroniques obtenus par ce procédé. Le procédé de fabrication d'un dispositif électronique comprenant un substrat en un matériau M, et une couche active en un matériau semi-conducteur, comprend les étapes suivantes : a) fourniture d'un support en un sel d'un métal alcalin ou alcalinoterreux , b) optionnellement, dépôt sur une face du support d'une couche en un matériau diélectrique, c) formation sur une surface du support lorsque l'étape b) n'est pas mise en œuvre, ou sur la surface libre de la couche lorsque l'étape b) est mise en œuvre, d'une couche active en un matériau semi-conducteur, d) formation des différents composants du dispositif électronique sur et/ou sous la couche, e) dépôt d'une couche de protection sur l'empilement obtenu à l'étape d) de couches et des différents composants du dispositif électronique, cette couche de protection étant en le matériau M voulu pour le substrat, et f) élimination du support. L'invention trouve application dans le domaine de l'électronique, en particulier. |
