イオン移動度分光計用小型センサ構造体

摘要

イオン移動度分光法の用途のために、センサ構造体の所望の形状は、窒化アルミニウムなどのセラミック材料から所望の形状に形成することで作製してもよい。様々な実施形態において、センサ構造体は、個別のセラミックシートを用いて形成し、及び／又は、予備形成されたセラミック管から形成してもよい。ＩＭＳドリフト管の効率的な回路構成を提供するために、及び／又は、ドリフト管の内面部と外面部との電気的接続を提供するために、ビアホールがセンサ構造体に形成されている。