炭素イオン注入のためのドーパント組成物の貯蔵及び準大気圧送達

摘要

ＣＯ含有ドーパント・ガス組成物を送達するための供給源が提供される。組成物は、キセノン及び水素などの制御された量の希釈ガス混合物を含み、それぞれ制御された体積比で提供されて、それにより最適な炭素イオン注入性能を確実にする。組成物は、ＣＯ含有供給源及び希釈混合物供給源からなるドーパント・ガス・キットとして充填することができる。或いは組成物は、デバイスの内部容積からイオン源装置までドーパント混合物の制御された流れが可能になるように、排出流路に沿って達成された準大気圧条件に応答して作動することができる単一供給源から予混合し導入することができる。