テーパ状側壁を有する連続突出部を伴う研磨表面を有する研磨パッド

摘要

テーパ状側壁を有する連続突出部を伴う研磨表面を有する研磨パッドが、説明される。テーパ状側壁を有する連続突出部を伴う研磨表面を有する研磨パッドを製作する方法もまた、説明される。一実施形態において、基板を研磨するための研磨パッドは、裏面の反対に研磨側を有する研磨体と、研磨体の研磨側と連続している複数の突出部を備えている研磨表面であって、各突出部は、研磨体から遠位の平坦表面と、平坦表面から前記研磨体に向かって外向きにテーパ状の側壁とを備えている、研磨表面とを備えている。