| 摘要 |
【課題】圧電アクチュエータから発生する温度を感知し、感知された温度を用いて圧電アクチュエータを冷却させることができる機能を持つ温度感知型圧電ディスペンサーを提供する。【解決手段】本発明は、温度感知型圧電ディスペンサーに係り、より詳しくは、圧電素子をアクチュエータとして使用して溶液をディスペンシングする圧電ポンプを備えるディスペンサーに関する。本発明の温度感知型圧電ディスペンサーは、圧電アクチュエータの温度を測定し、測定された温度値を用いて圧電アクチュエータを冷却することで、圧電アクチュエータの作動によって排出される溶液を正確に制御することができる利点がある。【選択図】 図１ |
