| 摘要 |
근적외선 오버레이 메트롤러지를 수행하는 방법 및 툴이 제시된다. 이러한 방법들은 근적외선 복사를 포함하는 필터링된 조명 빔을 발생시키는 단계와, 오버레이 타겟에 조명 빔을 지향시켜서 광학 신호를 생성하는 단계를 포함한다. 이 광학 신호는 검출되어 오버레이 메트롤러지 측정치 발생에 사용된다. 이 방법은 근적외선 파장에 대해 투과성인 불투명 물질층을 가진 기판에 대해 특히 적합하며, 이때, 근적외선 이미징이 사용되어 오버레이 측정치를 얻는다. 관련 장치는 근적외선 파장 범위로 뻗어가는 필터링되는 조명 빔을 발생시키는 수단과, 근적외선 조명 타겟으로부터 근적외선 신호를 수신하기 위한 검출기, 그리고, 신호 데이터를 처리하여 오버레이 메트롤로지 측정치를 얻기 위한 컴퓨터를 포함한다. |
