| 摘要 |
본원에 제공되는 실시예들은 일반적으로, 정전 척(ESC)에 관한 것이다. ESC는, ESC를 통한 홀들과 같은, 감소된 개수의 응력 시발점들을 포함할 수 있고, 이는, ESC의 기계적 무결성을 개선할 수 있다. ESC 내에 배치된 전극들은 전도성 리드들을 통해 전력 소스 및 전기적 컨택들(electrical contacts)에 연결될 수 있고, 그러한 리드들은 ESC의 주변부 엣지를 따라 형성되거나 커플링될 수 있다. 따라서, ESC에 형성되는 홀들에 대한 필요가 감소되거나 제거될 수 있다. 부가적으로, 가스 채널들이 정상부 표면 상에, 바닥부 표면 상에, 또는 양자 모두 상에 형성될 수 있다. 가스 채널들은 ESC를 통해 형성되는 가스 채널들에 대한 필요를 감소시키거나 제거할 수 있고, 기판 지지부, ESC, 및 ESC에 커플링된 기판 사이의 열 전달을 용이하게 할 수 있다. |
