FAST VACUUM VARIABLE CAPACITOR

摘要

본 발명은 벨로즈(11)에 걸친 압력차를 감소시키기 위한 사전-진공 인클로저(21)를 포함하는 진공 가변 커패시터(1)를 제공한다. 이로 인해, 구동 시스템(9, 14)에 대한 진공력 부하가 감소될 수 있어서, 이동가능 전극(7)의 이동이 보다 빠르게 되고, 진공 가변 커패시터(1)의 커패시턴스 조절이 보다 빠르게 되며 그리고 디바이스의 수명이 보다 길어진다.