| 摘要 |
구동 장치에 의해, 웨이퍼 스테이지 (WST) 의 Y 축 방향의 위치 정보를 계측하는 인코더 (62A) 의 계측값과 그 인코더에 의해 계측되는 스케일 (39Y) 의 평면도에 관한 정보에 기초하여, 웨이퍼 스테이지 (WST) 가 Y 축 방향으로 구동된다. 이 경우, 구동 장치는, 그 인코더의 계측값에 포함되는 스케일의 평면도에서 기인하는 계측 오차를 스케일의 평면도에 관한 정보에 기초하여 보정한 보정 후의 계측값에 기초하여, 웨이퍼 스테이지를 소정 방향으로 구동시킬 수 있다. 따라서, 스케일의 요철에 영향을 받지 않고, 인코더를 이용하여 웨이퍼 스테이지를 양호한 정밀도로 소정 방향으로 구동시킬 수 있게 된다. |
