Verbindungsstruktur mit Begrenzungsschicht

摘要

Es werden eine Verbindungsstruktur sowie ein Verfahren für die Bereitstellung einer Verbindungsstruktur, die leitfähige Elemente mit verringerten topografischen Schwankungen aufweist, offenbart. Die Verbindungsstruktur umfasst ein Kontaktpad, das über einem Substrat angeordnet ist. Das Kontaktpad umfasst eine erste Schicht auf einem ersten leitfähigen Material sowie eine zweite Schicht aus einem zweiten leitfähigen Material über der ersten Schicht. Das erste leitfähige Material und das zweite leitfähige Material bestehen im Wesentlichen aus demselben Material und sie weisen eine erste mittlere Korngröße und eine zweite mittlere Korngröße, die kleiner als die erste mittlere Korngröße ist, auf. Die Verbindungsstruktur umfasst weiterhin eine Passivierungsschicht, welche das Substrat und das Kontaktpad bedeckt, wobei die Passivierungsschicht eine Öffnung aufweist, welche das Kontaktpad freilegt.