NON-PLANAR TRANSISTORS AND METHODS OF FABRICATION THEREOF

摘要

본 발명은 비평면 트랜지스터들 내에 소스/드레인 구조들을 형성하는 것에 관한 것이고, 여기에서 핀 스페이서들은, 비평면 트랜지스터 핀들로부터 소스/드레인 구조들을 형성하거나 또는 소스/드레인 구조들을 형성하도록 비평면 트랜지스터 핀들을 적합한 재료들로 대체하기 위해 비평면 트랜지스터들로부터 제거된다.