发明名称 |
キャパシタンスを高めた金属−酸化物−金属(MOM)キャパシタ |
摘要 |
特定の金属−酸化物−金属(MOM)キャパシタデバイスは、基板に結合された導電性ゲート材料を含む。MOMキャパシタデバイスは、導電性ゲート材料に結合された第1のメタル構造をさらに含む。MOMキャパシタデバイスは、基板に結合されかつ第1のメタル構造に近接する第2のメタル構造をさらに含む。 |
申请公布号 |
JP2016511548(A) |
申请公布日期 |
2016.04.14 |
申请号 |
JP20150561376 |
申请日期 |
2014.02.19 |
申请人 |
クアルコム,インコーポレイテッド |
发明人 |
シア・リ;ビン・ヤン |
分类号 |
H01L21/8242;H01L21/822;H01L27/04;H01L27/108;H01L29/417;H01L29/423;H01L29/49 |
主分类号 |
H01L21/8242 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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