发明名称 キャパシタンスを高めた金属−酸化物−金属(MOM)キャパシタ
摘要 特定の金属−酸化物−金属(MOM)キャパシタデバイスは、基板に結合された導電性ゲート材料を含む。MOMキャパシタデバイスは、導電性ゲート材料に結合された第1のメタル構造をさらに含む。MOMキャパシタデバイスは、基板に結合されかつ第1のメタル構造に近接する第2のメタル構造をさらに含む。
申请公布号 JP2016511548(A) 申请公布日期 2016.04.14
申请号 JP20150561376 申请日期 2014.02.19
申请人 クアルコム,インコーポレイテッド 发明人 シア・リ;ビン・ヤン
分类号 H01L21/8242;H01L21/822;H01L27/04;H01L27/108;H01L29/417;H01L29/423;H01L29/49 主分类号 H01L21/8242
代理机构 代理人
主权项
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