| 摘要 |
본 발명은 상기 열 복사를 전기 신호로 변환하기 위한 하나 이상의 열 검출기 소자가 배열되는 하나 이상의 막, 및 상기 막을 지지하고 상기 전기 신호를 판독하는 하나 이상의 판독 회로를 지지하여, 상기 검출기 소자와 상기 판독 회로가 전기 도통 접속에 의해 상기 막을 통해 전기 접속되는 하나 이상의 회로 지지대를 포함하는 열 복사 검출 장치에 관한 것이다. 또한, 본 발명은 a) 상기 검출기 소자를 갖춘 막과 하나 이상의 전기 도통 접속을 제공하고 상기 회로 지지대를 준비하는 단계와, b) 상기 검출기 소자와 판독 회로가 상기 막을 통과하는 전기 접속에 의해 함께 전기적으로 연결되는 방식으로 상기 막과 회로 지지대를 결합하는 단계를 포함하는 열 복사 검출 장치 제조 방법에 관한 것이다. 제조 단계는 바람직하게 웨이퍼 레벨에서 수행되며, 기능화된 실리콘 기판이 서로에 대해 적층되어 서로 단단히 접합된 후에 개별 소자로 분할된다. 바람직하게, 검출기 소자는 파이로-전기 검출기 소자를 포함한다. 상기 장치는 모션 검출기, 프레전스 검출기 및 열 영상 카메라 분야에 적용될 수 있다. |
