| 发明名称 |
METHODS AND APPARATUS FOR CONSERVING ELECTRONIC DEVICE MANUFACTURING RESOURCES |
| 摘要 |
전자 디바이스 제조 시스템을 동작시키기 위한 방법이 제공되며, 상기 방법은, 프로세스 툴이 프로세스 모드로 동작하고 있는 동안 제 1 유량으로 불활성 가스를 프로세스 툴 진공 펌프(process tool vacuum pump) 내로 도입하는 단계; 및 상기 프로세스 툴이 세정 모드(clean mode)로 동작하고 있는 동안 제 2 유량으로 상기 불활성 가스를 상기 프로세스 툴 진공 펌프 내로 도입하는 단계를 포함한다. 많은 다른 실시예들이 제공된다. |
| 申请公布号 |
KR101612415(B1) |
申请公布日期 |
2016.04.14 |
| 申请号 |
KR20157009520 |
申请日期 |
2009.03.24 |
| 申请人 |
어플라이드 머티어리얼스, 인코포레이티드 |
发明人 |
클락, 다니엘, 오.;챈들러, 필;정, 제이, 제이. |
| 分类号 |
H01L21/02;H01L21/67 |
主分类号 |
H01L21/02 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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