发明名称 CHAMBER FOR HEAT TREATMENT EQUIPMENT AND HEAT TREATMENT EQUIPMENT
摘要 열처리 장치용의 챔버에 대해서, 대형이어도 제작에 드는 수고를 보다 줄일 수 있도록 한다. 열처리 장치(1)의 챔버(4)는, 피처리물을 둘러싸기 위한 통형상의 측벽(12)과, 측벽(12)의 일방의 개구부(12b)를 막는 단벽(13)을 가지고 있다. 챔버(4)는, 산화 규소를 주성분으로 하는 복수의 부재(측벽(12), 단벽(13), 제1 연결 부재(14), 제2 연결 부재(15)가 기계 결합되어 형성되어 있다.
申请公布号 KR101612614(B1) 申请公布日期 2016.04.14
申请号 KR20140090290 申请日期 2014.07.17
申请人 고요 써모 시스템 가부시끼 가이샤 发明人 가사나미 가츠히사;니시무라 게이스케;우라사키 요시히코;모리카와 기요히코;나카니시 유야
分类号 C23C16/46;H01L21/02;H01L21/22 主分类号 C23C16/46
代理机构 代理人
主权项
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