一种生产透明导电膜玻璃的方法

摘要

本发明公开一种生产透明导电膜玻璃的方法，包括以下步骤：（1）.在退火窑内，将含有硅烷、含氧源的气态屏蔽层前驱体以惰性气体为载体，通入到温度为460～480℃的玻璃表面上，利用激光束平行入射，使气态屏蔽层前驱体光致解离发生化学气相反应，在玻璃表面沉积形成厚度为50～90nm的屏蔽层；（2）.在退火窑内，玻璃温度为435～455℃的范围内，将含有预制气化的锌源、铝源、含氧源的气态导电层前驱体以惰性气体为载体，通入到已经沉积有屏蔽层的玻璃表面上，利用激光束平行入射，使气态导电层前驱体光致解离发生化学气相反应，在玻璃表面形成厚度为250～400nm的导电层。本发明有效降低了镀膜反应的温度，有利于提高薄膜质量，提高前驱气体利用率，有利于浮法线工况稳定。

主权项

一种生产透明导电膜玻璃的方法，其特征在于，包括以下步骤：（1）.在玻璃生产线的退火窑内，将含有硅烷、含氧源的气态屏蔽层前驱体以惰性气体为载体，通入到温度为460 ～ 480℃的玻璃表面上，利用激光束在高于玻璃表面0.8mm‑2.0mm 范围内平行入射，所述激光采用ArF 准分子激光束的波长为193nm、激光强度为40 ～ 90W/cm²、频率100Hz，使气态屏蔽层前驱体光致解离发生化学气相反应，在玻璃表面沉积形成厚度为50 ～ 90nm 的屏蔽层；（2）.在玻璃生产线的退火窑内，玻璃温度为435 ～ 455℃的范围内，将含有预制气化的锌源、铝源、含氧源的气态导电层前驱体以惰性气体为载体，通入到已经沉积有屏蔽层的玻璃表面上，利用激光束在高于玻璃表面0.8mm‑2.0mm 范围内平行入射，所述激光采用ArF 准分子激光束的波长为193nm、激光强度为5 ～ 15W/cm²、频率100Hz，使气态导电层前驱体光致解离发生化学气相反应，在玻璃表面形成厚度为250 ～ 400nm 的导电层。