| 发明名称 | 气囊式晶片粘结助压手柄 | ||
| 摘要 | 本发明提供一种气囊式晶片粘结助压手柄，包括：内置通气管道的握柄；能装卸地安装于所述握柄的梢端的气囊；和设于所述通气管道上的气阀；所述通气管道的一端与所述气囊连通，所述通气管道的另一端与供气单元相连通。本发明用于晶片粘结后挤出气泡、压按平整。 | ||
| 申请公布号 | CN105479327A | 申请公布日期 | 2016.04.13 |
| 申请号 | CN201511006393.8 | 申请日期 | 2015.12.29 |
| 申请人 | 中国科学院上海硅酸盐研究所 | 发明人 | 卓世异;黄维;王乐星;陈辉;庄击勇;刘学超;施尔畏 |
| 分类号 | B24B37/34(2012.01)I;H01L21/67(2006.01)I | 主分类号 | B24B37/34(2012.01)I |
| 代理机构 | 上海瀚桥专利代理事务所(普通合伙) 31261 | 代理人 | 曹芳玲;姚佳雯 |
| 主权项 | 一种气囊式晶片粘结助压手柄，其特征在于，包括：内置通气管道的握柄；能装卸地安装于所述握柄的梢端的气囊；和设于所述通气管道上的气阀；所述通气管道的一端与所述气囊连通，所述通气管道的另一端与供气单元相连通。 | ||
| 地址 | 200050 上海市长宁区定西路1295号 | ||