喷嘴部件、蒸镀装置及制作有机发光二极管器件的方法

摘要

本发明涉及有机发光二极管显示技术领域，提供了喷嘴部件、蒸镀装置及制作有机发光二极管器件的方法。本发明通过在与喷嘴间隔开的中空腔中设置有加热件，当蒸镀有机材料时，加热件可以加热升温，使喷嘴的周壁温度上升到基本保持与蒸镀腔中一致或略高于蒸镀腔，从而喷嘴中的温度保持在一个合适的范围之内，既不过低使有机材料凝结在喷嘴中，又不过高使有机材料碳化。同时由于有机材料不凝结在喷嘴中，不需要将蒸镀装置停工来清理喷嘴，提高了设备稼动率。由于有机材料不再凝结在喷嘴处或被高温碳化，因此蒸镀形成的有机材料层厚度符合设计需要，材料不会劣化，提高了有机发光二极管器件的性能。

主权项

一种喷嘴部件，包括设置有喷嘴的本体，其特征在于，所述本体还设置有与所述喷嘴间隔开的中空腔，所述中空腔中设置有加热件。