一种单晶炉加热装置

摘要

本实用新型涉及一种单晶炉加热装置，包括上加热器11、下加热器13、石墨电极棒8、支撑柱5，上、下加热器外设置有保温装置，保温装置包括侧保温套15和上保温套12，侧保温套15包括内石墨层6和不锈钢的侧保温套外壳16，中间填充有碳毡，上保温套10包括石墨环9和上保温套外壳14，中间填充有碳毡，上保温套10的石墨环9上支撑有小保温套10，石墨电极棒8一端与上、下加热器之间采用螺纹连接，圆锥导向，轴肩固定和支撑连接简易、方便可靠。单晶炉的加热装置的结构设计大大提高了单晶炉的性能，排除过去的单晶炉一系列故障，是保证单晶炉研制成功的关键环节。

主权项

一种单晶炉加热装置，其特征在于：包括上加热器(11)、下加热器(13)、石墨电极棒(8)、支撑柱(5)，上、下加热器外设置有保温装置，保温装置包括侧保温套(15)和上保温套(12)，侧保温套(15)包括内石墨层(6)和不锈钢的侧保温套外壳(16)，中间填充有碳毡，上保温套(15)包括石墨环(7)和上保温套外壳(14)，中间填充有碳毡，上保温套(15)的石墨环(9)上支撑有小保温套(10)，石墨电极棒(8)一端与上、下加热器之间采用螺纹连接；石墨电极棒(8)通过氮化硼管(5)与侧保温套(15)绝缘，在下加热器(1)底部安装有防辐射挡板，分为三层，下层为膨胀石墨组成的隔热垫圈(1)，中层为石墨防漏垫圈(2)，上层为膨胀石墨的衬垫(3)。